|
晶圓芯片清洗劑HF-CC-05A: 隨著超大集成電路不斷發展,集成電路線款尺寸不斷減小,因此對晶圓表面潔凈度要求越來越高,由此,特意開發了專門用于清洗晶圓切粒后的及其研磨加工后的清洗劑,使芯片得到符合要求的潔凈度,因為晶圓經過切割、脫膠后,芯片表面吸附著大量的表面污垢,如蠟、切削液,硅晶粉、氧化膜及金屬殘留顆粒等等;以及隨后的研磨工序所帶來的研磨粉、金屬離子、硅晶粉顆粒等污垢,由此有效地提高 Bonding 力度,從而改善 Gap 缺陷。 一、產品特點: 安全性高: 對環境和使用安全,本產品無刺激性氣味、無毒、不燃、不腐蝕芯片。具有良好的生物降解性。 優異的潤滑、冷卻、散熱等功能,進而有效的降低由熱導致的加工缺陷。 極佳清洗效果:滲透溶解力強、速度快、不殘留、易漂洗、徹底去除吸附在芯片表面的各種金屬離子、蠟、油、膠粘劑、研磨粉等固體顆粒以及有機污染物污垢等。 丙酮的完美替代者:可替代丙酮來溶解臨時固定蠟(如 SHIFTWAX 7607 蠟),可消除丙酮所帶來的易燃易爆的風險,同時,良好的人文環境。 滲透溶解力強、速度快、不殘留、易漂洗、徹底去除吸附在芯片表面的各種金屬離子、蠟、油、膠粘劑、研磨粉等固體顆粒以及有機污染物污垢等。 適用于超聲波清洗方式,溶液最佳工作溫度建議在 45℃---55℃。 二、產品參數: 外觀:淡黃色透明液體 氣味:無刺激性 PH:9.0±0.5 密度(@20℃,GB/T35.55) :0.9750-0.9950 g/cm3 三、使用方法: 工作溶液濃度: 5---10%()體積比,使用去離子水配制); 使用超聲波清洗方式,溶液最佳工作溫度建議在45℃---55℃。 四、包裝: 采用專業化工HDPE 塑料桶而決不使用鐵桶或鍍鋅桶,以避免對晶圓產生離子污染。 200 升和 25 升; 五、注意事項: 與強氧化劑和強酸不兼容。 六、儲存和運輸: 由于此清洗劑無毒無刺激不易燃,可按普通化學品運輸和存放。 置于陰涼干燥通風的室內,密封儲存, 每次開啟后都要密封好; 避免強氧化劑、酸、高溫環境、太陽光直照、雨淋等,遠離火源。 七、有效期: 在原始包裝條件下其有效期為一年。 八、交貨期: 收到訂單后 15 個工作日。 |
弗洛林科技
Florin technology